机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积的超低k SiOC(H)膜的表征
机译:等离子增强化学气相沉积法在低介电常数SiOC(-H)薄膜中Cu扩散行为的研究
机译:蒸发的铜和铝对采用等离子体增强化学气相沉积法沉积的后退火SiOC(-H)膜的影响
机译:前体流速对等离子体增强化学气相沉积法沉积低k SiOC(H)薄膜特性的影响
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的聚萜烯薄膜的光学和化学性质
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。